微細加工技術の特徴
光ディスクで培った①加工②複製③測定技術を応用し、様々な形状の微細加工製品を提供致します。
①加工技術
☆特殊レジスト成膜
・フォトレジスト薄膜コート他、金属レジストコート技術を保有。
・青色半導体レーザー（λ＝405nm）により、最少Φ140nmホールの微細加工を高スループットで実現します。
☆直描フォトリソグラフィ
・マスクレス直接露光による円状描画や直接描画が可能です。
・３Ｄ描画によるマイクロ造型も実現しています。
☆エッチング
・加工形状によりドライ／ウェットエッチングを使い分け対応致します。
②複製技術
☆ニッケル電鋳
・シリコン、ガラス、ニッケル基板など、様々なマスターからニッケル複製が可能です。
・一度複製をとれば、何世代ものニッケル複製が可能です。
③測定技術
☆形状評価
・様々な微細観察装置による形状測定技術を保有し、ナノ～マイクロ加工の信頼性を高めます。
走査電子顕微鏡（ＳＥＭ）
原子間力顕微鏡（ＡＦＭ）
白色光干渉型顕微鏡 etc.
